‘경기도 반도체 산업 전문인력 양성사업’의 하나로 시행된 이번 교육은 중급자 교육으로 지난 7월 3일부터 이날까지 8주간 시행됐다.
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X-선 회절 분석기는 분말, 박막 시료 측정과 데이터베이스를 이용한 상분석 및 두께 분석을 하는 장비다. 이온빔 주사전자현미경은 이미지 측정, 단면 측정, 원소 성분비 계산 등 반도체 소재 및 소자의 물성을 확인할 수 있는 장비다.
따라서 이를 관찰·분석하는 절차는 반도체 소자를 개발하는 데 매우 중요한 단계다. 또 단면 측정을 통한 불량 분석은 수율, 성능, 신뢰성을 높이는 데 중요한 요인이기 때문에 측정과 분석 결과 해석에는 전문지식이 필요하다.
이런 소재 및 소자의 기본적인 물성 파악을 위해 필요한 X-선 회절 분석기와 이온빔 주사전자현미경은 기본적이면서도 필수적이지만 고가의 분석 장비이기 때문에 일반적 환경에서는 접하기가 어렵다.
차석원 융기원장은 “학생들이 이번 교육을 통해 기업의 분석 수요에 대응할 수 있는 반도체 장비 오퍼레이터로 성장할 수 있기를 기대한다”며 “융기원이 R&D 전문 연구 기관인 만큼 과학 기술 분야의 전문인력을 양성하기 위해 최선을 다하겠다”고 말했다.
융기원은 교육 과정을 성실히 수료한 학생들을 대상으로 융기원-경기대-분석기기 전문기업 공동 수료증을 발급하고, 하반기에는 반도체 물성 분석 전문가 고급 과정을 진행할 예정이다.