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올해 수도권 대학 3곳과 비수도권 대학 5곳에 총 540억원을 4년간 지원된다. 이번 지원사업은 개별대학이 사업에 참여하는 단독형과 대학간 연합이 참여하는 동반성장형으로 나뉜다. 단독형으로는 수도권에서 2개 대학을 선정해 각각 45억원 내외를, 비수도권에서 3개 대학을 선정해 각각 70억원 내외를 지원한다. 동반성장형에서는 수도권 1개교·비수도권 1개교를 연합으로 선정해 총 70억원을, 비수도권 같은 권역 내 대학 2~3개교를 연합한 대학연합을 2개 선정해 각각 85억원 내외를 지원한다.
반도체 특성화대학 선정을 희망하는 대학은 각자 장점 분야를 중심으로 △인재양성 목표 △이행 계획을 수립해야 한다. 구체적으로 살펴보면 대학들은 반도체 인재양성을 위한 학과 신설 등 추진을 위한 체계를 구축해야 한다. 학과 신설이 필수조건이 아니지만 대학별 반도체 인재양성 방식 등에 대한 구체적 방안을 제시해야 한다.
반도체 분야 전문가로 구성된 평가위원단이 반도체 특성화대학을 서면평가·대면평가 등으로 지정한다. 교육부는 공청회 등을 통해 각 대학의 의견을 수렴한 뒤 오는 3월 초 기본계획을 확정·공고한다. 평가위원단 심사를 거쳐 오는 5월 중 최종 선정 결과를 발표하게 된다.